日本EZO进口精密半导体设备不锈钢微型轴承发生微动磨损的原因分析

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       日本EZO进口精密半导体设备不锈钢微型轴承微动磨损是不锈钢微型轴承的主要失效形式之一，通常滚针的硬度比互相配合的轴外圆和齿轮内孔硬度略高，所以微动磨损通常会发生在与滚针接触的齿轮内孔或轴的外圆部位。
       变日本EZO进口精密半导体设备不锈钢微型轴承速器中的游动齿轮通常为斜齿轮，在传扭运转过程中，法向力Fn为齿轮的综合受力；切向力Ft使齿轮传递扭矩；径向力Fr使齿轮内孔对滚针施加压力；由于齿轮轴向和径向间隙的存在，轴向力Fn使齿轮沿轴向倾斜，运转过程中形成摆动。齿轮在摆动过程中，齿轮内孔相对于滚针产生了径向压力作用下的小位移轴向往复运动，这种运动称之为“微动”，因此不锈钢微型轴承产生的磨损，称之为“微动磨损”。
       日本EZO进口精密半导体设备不锈钢微型轴承微动磨损是一种分子磨损过程，即两接触面在垂直负荷下进行微小位移的往复运动，使接触表面接近到范德瓦尔力起作用的程度，从而导致材料脱离母体，然后被氧化。可以看到，不锈钢微型轴承微动磨损导致材料损失是化学（氧化）与机械（受载运动）共同作用的结果，机械作用将氧化层和吸附层刮掉，露出清洁而活泼的新鲜金属表面。新鲜表面吸附周围气体并发生氧化反应，这是化学作用。机械和化学作用交替造成材料损失。
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